Veranstaltung:
Fertigungstechniken der Elektronik
Dozent:
Prof.
Anders
Termin (WS 2011-2012):
Mo 14:00-15:15
Ein Inhaltsverzeichnis
finden Sie hier.
______________________________________________________
Aktuelle Info:
Leider trat ein
krankheitsbedingter Vorlesungsausfall auf. Alle Vorlesungen werden
nachgeholt. Der Nachholtermin wird in der Vorlesung bestimmt.
Für diejenigen, die zum Nachholtermin nicht kommen können, stelle ich
Screencasts der letzten drei
Vorlesungseinheiten(Inhalte der letzten zwei Termine) auf dieser Seite
ein.
Für Ungeduldige zusätzlich die Inhalte der zunächst ausgefallenen
Vorlesungen.
Die Screencasts sind ein neues Medium für mich, ich habe in kurzer Zeit
umfangreiche Vorlesungsinhalte aufgezeichnet. Sie wurden teilweise noch
nicht unter optimalen Bedingungen eingesprochen. Ich bitte für daraus
resultierende Fehler und Unzulänglichkeiten um Entschuldigung.
______________________________________________________
Literatur:
Es gibt leider kaum gute Bücher
zu den Inhalten
dieser
Vorlesung, am ehesten:
S.Büttgenbach, Mikromechanik, Teubner Studienbücher,
ISBN 3-519-03071-3.
Meine Präsentationsfolien
gibt es als
pdf-Dokumente im
Handoutverzeichnis (Anders) nur für den internen
Zugriff.
Ich benutze die kostenlose
Präsentationssoftware:
Impress von Libreoffice
(3.4) ->
(http://www.libreoffice.org/)
_______________________________________________________________________
Screencasts:(Achtung, die Clips
sind teilweise über 200 MB groß)
(VL1-3 nicht
aufgezeichnet)
VL_4 (Ultradünne Schichten)
clip_a clip_b
VL_5 (Reinraumtechnik)
clip_a clip_b
(VL6-9 nicht aufgezeichnet)
VL_10
(optische
Lithographie) clip
(Vorsicht
Versprecheralarm! Unser Maskenbelichter arbeitet mit einer Quecksilberdampflampe)
VL_11
(Trockenätzen)
clip
VL_12 (Silizium)
clip
VL_13 (Mikromechanik)
clip
____________________________________________________________________________________________